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功率器件參數(shù)測試指南
資料介紹

參數(shù)表征既需要進(jìn)行電流-電壓(IV)測量,也需要進(jìn)行電容-電壓(CV)測量。目前開發(fā)的制程技術(shù)通常需要通過單通道對晶圓上器件進(jìn)行精確的 IV 和 CV 測量。Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀在單臺主機(jī)中使用一個新的單插槽多頻率電容測量單元(MFCMU)和兩個 SMU 單元,能夠支持單通道的 IV 和 CV 測量。

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